【雜志簡介】

　　《真空》雜志是中國真空界主要雜志之一。自1994年真空雜志轉換經營機制以來，由我國真空企業界實力雄厚的廠家與雜志社聯辦成立董事會，并由真空學術界著名學者組成編委會。社會效益與經濟效益與日俱增，在國內真空界享有盛譽。自1989年公開發行以來，被美國、英國、德國、日本、意大利、韓國以及港澳地區越來越多的海外學者所關注。

　　真空雜志系國家級刊物，首批列入我國“中文核心期刊要目總覽”中工業技術類核心期刊，在此類30種期中排列第八名。同時列為“中國科技論文統計與分析”首批統計刊源。近年又首批入編“中國學術期刊光盤版”。由于本刊特色。30多年來在我國真空界享有盛名，頗受廣大讀者歡迎。為我國真空業界首選技術刊物。發行全國24個省市、自治區，并與境內外多種刊物交換收存。

　　【收錄情況】

　　國家新聞出版總署收錄　獲獎情況

　　工程技術類核心期刊

　　中國期刊網、光盤國家工程中心用刊

　　國外數據庫收錄

　　美國化學文摘

　　【欄目設置】

　　主要欄目：學術論文、新產品開發、實驗技術、系列講座、綜合評述、設計與工藝、經驗介紹、市場預測、產品廣告、知名廠商、設備維護、知識問答等。

　　雜志優秀目錄參考：

　　中國散裂中子源(CSNS)真空系統研制 董海義，宋洪，李琦，楊奇，趙晶晶，黃濤，王鵬程，關玉慧，劉鵬飛，劉佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　動態相對法真空標準裝置簡介 國家真空設備質量監督檢驗中心

　　EAST高頻彈丸注入裝置真空系統設計 姚星佳，胡建生，李長征，陳躍，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系統計算軟件開發 王莉君，羅陽，華海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃熱點科普教育新突破--510所《載人航天與太空旅游》正式出版 沈陽真空雜志社

　　浮動式渦旋干泵的結構設計與特點 倪詩茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜會議

　　基于分子蒸餾原理的金屬銫提純實驗系統研制 馬寅光，李得天，陳江，王驥，黃良育，成大鵬，劉蘇民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中國知網與真空雜志社聯合聲明 中國知網、真空雜志社

　　真空噴射霧化過程中噴嘴口的流動模型計算與數值分析 韓宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口徑低溫泵之制冷機R65的研制 熊鷹，杜建偉，徐海波，王為民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗電弧爐恒熔速控制系統改造 王勃，陳鼎，孫足來，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅鑄錠爐擴容后的安全性分析及安全措施研究 周社柱，王鋒，張桂蕓，王成君，馮宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中國農機化投稿：機械電氣設備故障的應急處理

　　摘 要：現代工程的進行離不開機械電氣設備，電氣設備在數年來的發展下愈加機械化與電氣化，極大地提高了工程效率。然而，機械電氣設備在愈加智能化、自動化的同時會出現許多故障，這些故障或多或少地影響到工程的正常進行，引起一定的經濟損失。為了避免因設備故障影響工程實施，相關工作人員必須針對設備故障進行應急處理。該文試探討工程中機械電氣設備的常見故障，包括開關故障、轉子回路的短路故障、啟動電抗器的接地故障，以及分別對應的應急處理措施。

　　關鍵詞：工程機械,電氣設備,設備故障,故障應急處理

　　機械電氣設備的功能隨著科學技術的提高具有越來越高的科技含量，對于企業的生產具有極為重要的意義。然而，或因設備本身設計的缺陷、制造過程中的不足，或因外部環境惡劣、人員操作不當，機械電氣設備會出現影響到設備正常運行的故障，常規維修固然可以最好地保證設備功能正常，但是會耗費較長的時間，企業無法接受停工造成的經濟損失，為此，必須要有應急措施來處理設備故障。

　　真空最新期刊目錄

LNOI沉積非晶硅薄膜起泡問題研究

摘要：刻蝕LNOI（絕緣體上鈮酸鋰）通常采用非晶硅薄膜作為掩膜；在使用PECVD設備在LNOI表面沉積非晶硅薄膜時，常出現薄膜起泡現象。氣泡尺寸大多在5～60 μm之間，其存在會影響LNOI刻蝕的形貌。研究表明，非晶硅薄膜氣泡可能是鈮酸鋰薄膜表面的缺陷導致的；這些缺陷表面的氧原子與非晶硅薄膜中的氫結合，破壞Si-H鍵，導致薄膜局部張應力增大，從而引起非晶硅薄膜起泡。通過對比實驗發現，在沉積非晶硅薄膜之前...

基于Q值增強的高真空諧振腔實現腫瘤細胞鐵死亡高靈敏實時監測

摘要：為突破現有腫瘤細胞鐵死亡監測技術實時性弱、侵入性強的瓶頸，構建融合高真空環境與壓電諧振原理的非標記、非接觸式動態監測路徑。設計具備高Q值(>10⁴)的壓電諧振器件，并搭建極限真空度達10^-4 Pa的諧振傳感系統，泄漏率低于10^-8 Pa·m³/s。通過在腫瘤細胞模型中施加鐵死亡誘導劑，實時采集諧振頻率漂移...

基于NSGA-II算法的變螺距轉子動平衡設計方法

摘要：對干式螺桿真空泵變螺距轉子的動平衡設計方法進行了研究，通過質量去除法在轉子齒面設計兩類五組減重孔，結合參數化建模技術和NSGA-II算法，成功得到了減重孔的最佳參數及布置角度，優化了質量分布。利用SolidWorks進行三維建模，并通過其API接口進行二次開發，借助Visual Studio開發窗體程序，實現建模與優化過程中的數據互通以及模型參數的自動化更新。結果表明，經過減重處理后，轉子動平衡性...

高溫液態鋰與聚變堆結構材料潤濕特性研究平臺設計

摘要：液態鋰在基底材料表面的潤濕性是決定液態鋰第一壁性能的關鍵因素之一。設計了一套液態金屬與固體材料潤濕特性研究平臺，結合系統運行關鍵問題，采用ANSYS軟件對平臺檢測室和注射系統等部件進行了熱力學仿真和理論計算。結果表明：外徑250 mm、壁厚3 mm的304不銹鋼真空檢測室在一個大氣壓下的最大變形量約為0.045 mm，最大應力強度為29.876 MPa，低于許用應力（137 MPa）；檢測室最大等...

抽真空過程中水面蒸發及空氣溫濕度變化特性研究

摘要：對內部含水的真空艙抽真空過程中，低壓下水面快速蒸發造成空氣含濕量急劇增大，含濕量過大的稀薄空氣進入真空泵并在升壓過程中析出大量冷凝水，可能導致潤滑油乳化進而損壞真空泵。因此，掌握抽真空過程中水面的蒸發特性以及空氣溫濕度變化特性至關重要。本文首先搭建了小型水面抽真空實驗臺，研究了不同抽氣流量、水面面積下抽真空過程中空氣溫濕度變化規律，發現空氣溫度變化主要受抽氣速率影響，空氣含濕量變化主要受水面面積影...

用于空間微波器件的高可靠陰極熱子組件

摘要：對空間微波器件陰極熱子組件的可靠性進行了加速壽命試驗。實驗表明熱子可靠性強烈依賴加電極性，當燈絲接電源負電壓，陰極接正電壓時，熱子組件的壽命遠高于反向接電方式。進一步的實驗證明，熱子短路和斷路的原因主要是由于浸漬發射材料擴散進入熱子組件絕緣層造成的。為此，在陰極基底與熱子組件之間加一隔板隔開，既避免了熱子的短路，也延長了陰極的壽命。為了提高陰極的熱效率和耐沖擊性能，采用鉬釕合金焊料將陰極餅與支撐筒...

基于智能優化的模糊PID凍干機真空控制系統的研究

摘要：傳統凍干機真空系統具有非線性和時變性特點，常規PID控制算法難以滿足其高精度真空控制要求。為提高凍干機真空控制性能，對凍干機真空系統進行了優化，設計出智能優化的模糊PID控制器，通過人工蜂群（ABC）算法優化調整模糊控制器的輸入論域，同時根據閥控真空特性修正控制器輸出量，有效抑制了系統的非線性和時變性影響，提高了真空控制的動態性能。實際測試表明，應用新系統后凍干機真空控制性能在調節時間、超調量和穩...

熱等靜壓預應力容器纏繞鋼絲優化及數值模擬

摘要：預應力纏繞鋼絲目前廣泛應用于熱等靜壓設備等的承壓容器部分，首先建立了變張力容器纏繞數值模型以及等張力臺階劃分模型，然后利用數值分析軟件和算法對臺階劃分方式進行了優化，得出滿足承載力的前提下節省鋼絲砝碼數量的最優解，最后通過建立容器的纏繞仿真模型，運用有限元分析驗證了結果的準確性

石墨工裝板厚度對碳化硅真空燒結爐溫度場的影響

摘要：溫度均勻性是真空燒結爐的核心性能指標之一，直接影響工件燒結質量。本文通過對真空燒結爐溫度場的數值模擬，研究了石墨工裝板厚度對爐內溫度均勻性的影響。結果表明：下支撐板厚度對溫度均勻性影響最大，蓋板次之，而側板影響微弱；優化后的石墨工裝板參數為下板厚50 mm，蓋板厚20 mm，側板厚60 mm；相較于原始方案，優化后工件間的最大溫差減小19.1℃，即減小了10.7%。本研究可供真空燒結爐的工裝設計與...

雙真空特殊鋼純凈度控制研究

摘要：鋼鐵行業綠色低碳生產是實現“雙碳”目標的重要保障，推進特殊鋼雙真空熔煉（VIM+VAR）工藝向綠色低碳發展已成為新的研究方向。本文以電爐鐵基材料以及電解鐵為原材料，開展真空熔煉過程中不同含碳量的特殊鋼氧含量變化規律及高Cr合金鋼脫氮動力學研究，通過真空脫氧、脫氮以及脫硫控制，開發低耗碳、低氧高純凈度雙真空特殊鋼冶煉工藝。結果表明：雙真空特殊鋼制備工藝能夠顯著降低碳排放，推動雙真空特殊鋼向綠色低碳發...

真空蒸餾爐在新能源汽車鋰離子電池負極材料中的應用

摘要：隨著新能源汽車市場的蓬勃發展，鋰離子電池作為核心動力源，其性能提升成為關鍵。真空蒸餾爐在新型鋰離子電池負極材料制備中展現出顯著優勢。本文通過分析鋰離子電池負極材料面臨的挑戰，闡述了真空蒸餾爐的技術原理與優勢，詳細介紹了高溫蒸發系統、過渡區溫度控制、旋轉冷卻恒溫收集系統以及真空度維持等關鍵技術。結果表明，真空蒸餾爐能夠高效制備高品質的氧化亞硅（SiO）負極材料，顯著提升材料性能一致性，增強鋰離子電池...

基于多參數反饋的真空滅弧室集成設備RPA控制引擎設計與動態滅弧優化研究

摘要：為提高真空滅弧室集成設備在極端工況下的運行可靠性，提出一種基于多參數反饋的實時過程自動化（RPA）控制引擎與磁吹-氣吹復合滅弧策略。通過構建真空度動態閾值分級模型、泄漏率卡爾曼濾波補償算法及觸頭燒蝕量光譜反演方法，建立多物理量閉環反饋機制；設計模糊PID與深度強化學習雙模協同控制架構，實現分合閘過程毫秒級精準調控；結合磁場梯度聚焦與脈沖氣流時序匹配，形成電弧能量多路徑耗散模式。實驗表明，該方法將真...

真空輔助鋼管混凝土拱橋自振特性及地震響應分析

摘要：研究了真空輔助技術在鋼管混凝土拱橋中的應用效果，結合某工程真空輔助鋼管混凝土拱橋建設參數，利用有限元分析和實驗測試，對拱橋的自振頻率、振型以及地震響應進行了全面評估。結果表明：拱橋的矢跨比、內傾角均與自振頻率呈現正相關，矢跨比為1/5、外拱內傾角為14°條件下自振頻率增幅分別約為6.6%和38.5%；在地震波作用下，拱橋在X方向上的響應更為明顯，在抗震設計時，應更加注重X方向的抗震性能；在真空輔助...

基于深度學習的真空鍍膜生產缺陷檢測方法研究

摘要：柔性熱控薄膜的熱輻射性能是影響航天器表面熱平衡控制的關鍵。在真空磁控濺射過程中，由于設備實時工藝波動，薄膜可能會出現多種缺陷。為保證鍍膜生產質量與效率，針對傳統人工缺陷檢測方法依賴經驗、效率低、勞動強度大、精度低和實時性差等問題，提出了一種基于高效自適應卷積和通道-空間金字塔池化的鍍膜缺陷檢測方法，詳細介紹了模型各關鍵模塊的優化設計方法。結果表明，該方法可自主學習建模潛在分布的多層表征，通過深層神...

復雜電磁環境下電子束軌跡控制可靠性技術研究

摘要：針對電子束磁場控制電源在復雜電磁環境并伴隨電子槍打火條件下可能存在的電磁兼容性問題，基于FPGA技術高速采集磁場控制電源信號，搭建模擬測試平臺，確定了影響磁場控制電源的典型干擾源形式，并測試了各干擾源的強度和頻率范圍。在磁場控制電源輸出端和控制電路中設計濾波電路抑制外部環境干擾。通過MOSFET加電阻串并聯組合瞬態分壓的方式，瞬時吸收電子槍的打火能量。驗證結果表明優化后的電子束軌跡控制系統可有效屏...

正壓漏孔校準裝置體積系數測試分析

摘要：采用體積補償法正壓漏孔校準裝置校準正壓漏孔，體積系數的準確測量是關鍵。為了提升體積系數的測量準確度，本文在無漏孔和有漏孔兩種情況下研究了體積系數與差壓的關系，測試了同一可調漏率漏孔在不同漏率下體積系數的一致性。對測試結果進行理論分析后，通過制作模擬接頭和修正ΔP的方法進行體積系數修正，最后測試了定值漏孔的體積系數穩定性。結果表明，修正后的體積系數測試準確性和穩定性明顯改善，兩種修正方法的一致性小于...

雙螺桿真空泵直線型轉子研究

摘要：提出了一種螺桿真空泵直線型轉子型線設計方法，給出了型線方程和針對LG70型螺桿真空泵轉子型線的主要結構參數；對新型螺桿真空泵進行加工分析，優化了加工方式；基于該轉子型線進行了實際產品生產，并與原擺線型轉子螺桿泵的抽速等性能指標進行了對比。結果表明：新設計的直線型轉子型線具有容積效率高、加工方便、定位準確的特點，與擺線型轉子螺桿泵相比抽氣效率和加工效率均得到了提高

真空設備風冷換熱系統結構的仿真優化

摘要：結合真空設備的發展趨勢明確了設備風冷換熱系統的發展方向為提高換熱效率以及增加排污功能等。基于此，本文通過仿真計算對風冷換熱系統的進風管道和換熱器風機連接管道進行結構優化，通過控制流量計算不同管道結構對風冷換熱系統出風的影響，并對比分析了管道外壁面溫度及出口風速等參數。結果表明：與傳統直角彎管相比，采用焊接彎頭與分體式水冷夾套設計的進風管道時，出口氣體流速得到提升，壁面溫度分布均勻性改善；在連接管道...

第二十三講 離子注入與離子輔助沉積技術

摘要：<正>（接2025年第3期96頁）（7）加速的離子可通過薄膜注入到金屬襯底內，這種技術被稱為離子束混合和離子束縫合技術。它可使薄膜與襯底界面處形成合金層，使得薄膜與襯底牢固粘合，實現輻射增強合金化與離子束輔助增強粘合。（8）采用離子束輔助增強沉積技術，在蒸發和濺射過程中伴隨離子注入，可改善鍍膜特性

基于時序數據灰度圖像的氦檢漏設備故障診斷方法研究

摘要：氦檢漏設備傳統故障診斷方法存在無法直觀表示故障特征、嚴重依賴專家經驗而準確性有限的問題。針對氦檢漏設備傳感器數據，提出了一種結合卷積神經網絡（CNN）的時間序列圖像生成方案，對故障數據進行數據驅動分析和故障分類，從而更準確地診斷故障。首先將一維時間序列信號轉換為灰度圖像進行形象化表達，以適應不同的氦檢漏設備故障診斷場景，然后對LeNet-5 CNN模型進行優化，設計了計算速度更快、識別精度最大化的...

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