微納電子技術
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微納電子技術
關注()- 期刊周期：月刊
- 期刊級別：北大核心
- 國內統一刊號：13-1314/TN
- 國際標準刊號：1671-4776
- 主辦單位：中國電子科技集團公司第十三研究所
- 主管單位：中華人民共和國信息產業部
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【雜志簡介】
《微電子技術》以促進我國納米電子技術不斷發展為辦刊目的。 創刊4年以來，匯集了納米電子、機械、材料、制造、測量以及物理、化學和生物等不同學科新生長出來的微小和微觀領域的科學技術群體，通過報道國內外納米電子技術方面的研究論文和綜述動態,為納米研究領域的技術人員提供納米技術領域新的突破方法和新的研究方向，為納米技術領域中從事原始創新和基礎探索的科研工作者、大學教師和學生提供了一個納米電子技術成果展示、轉化和技術交流的平臺。
【收錄情況】
國家新聞出版總署收錄 獲獎情況
2002-2003和2003-2004年度，均獲信息產業部電子科技期刊編輯質量優秀獎
2005-2006年度獲信息產業部電子科技期刊學術技術水平優秀獎
中國學術期刊執行(光盤版)檢索與評價數據規范優秀期刊
2007-2008年度又榮獲工業和信息化部電子科技期刊學術技術水平優秀獎。
俄羅斯《AJ》收錄
英國《SA》,INSPEC數據庫收錄
美國《劍橋科學文摘》收錄
【欄目設置】
主要欄目：專家論談、納米器件與技術、納米材料與納料結構、MEMS器件與技術、顯微、測量、微細加工技術與設備、企業與人物追蹤、業界快訊等。
雜志優秀目錄參考：
1 Ⅲ-Ⅴ多結太陽電池隧道結模型的研究進展 陳帥;楊瑞霞;吳亞美; 545-553
2 PMMA柵絕緣層表面形貌對并五苯OTFT性能的影響 李雪飛;王偉;王帥;石曉東; 554-558+580
3 金納米棒復合結構中的雙重法諾共振效應 齊信;黃運歡;薛保平; 559-564
4 組合式MEMS三維矢量水聲傳感器 郭楠;張國軍;劉夢然;簡澤明;張文棟; 565-569+596
5 基于PNP模型微通道內冪律流體電滲流數值模擬 申力;李鳴;楊大勇; 570-575
6 基于流動聚焦結構的微液滴形成機理 楊麗;周圍;王學浩;程景萌;王媛媛;張思祥; 576-580
7 一種高溫壓阻式壓力傳感器的制備與倒裝焊接 李丹丹;梁庭;姚宗;李賽男;熊繼軍; 581-585
8 基于小波包絡提取法的白光干涉測量系統 簡黎;雷李華;李東升;孫曉光;蔡瀟雨;李源; 586-591+610
9 堿性銅精拋液中活性劑對平坦化效果的影響 賈少華;劉玉嶺;王辰偉;閆辰奇; 592-596
10 UV-LIGA技術制備頻率選擇表面的研究 林彬彬;陳迪;林樹靖;謝耀;袁濤;崔大祥; 597-602
11 阻擋層CMP中螯合劑FA/OII對拋光效果的影響(英文) 榮穎佳;王勝利;劉玉嶺;王辰偉;高嬌嬌;張文倩; 603-610
12 第11屆國際專用集成電路會議第一次征稿通知 611-612
通信技術雜志投稿：信息技術在體育教學中的應用
摘 要：隨著科學技術的迅猛發展，信息技術越來越廣泛地應用于各個領域，怎樣把信息技術與體育課程有效整合，達到課堂教學效果的最優化是每位體育教師所面臨的課題。本文結合自身的實踐，做了有益的嘗試。
關鍵詞：通信技術雜志,信息技術, 體育
在新課標下，如何做到將信息技術合理應用到體育教學中，激發學生興趣，開發教學資源，優化教學過程呢?筆者結合個人教學實際，談談自己的看法。
微納電子技術最新期刊目錄
光激發增強過渡金屬二硫化物氣敏性能研究進展
摘要：氣體傳感器作為嗅覺傳感的核心元件,可精準識別環境中氣體的種類與濃度,在環境監測、食品安全、醫療健康等領域應用前景廣闊。傳統半導體氣體傳感器依賴高溫驅動,存在能耗高、檢測限偏高等問題。光激發通過引入光生載流子,協同促進氧分子與目標氣體的表面反應及界面電荷轉移,為提升氣敏性能提供了有效途徑。二維過渡金屬二硫化物（TMD）因帶隙可調、高比表面積和優異光電特性,是光激發氣體傳感器的重要候選材料。系統綜述了...
諧振式MEMS電場傳感器強電場干擾抑制閉環設計
摘要：針對諧振式微機電系統(MEMS)電場傳感器在強交流電場測量過程中閉環檢測的反饋信號易受待測電場自身干擾、易失鎖問題，提出了一種適合大量程交流電場測量的傳感器強電場干擾抑制閉環檢測方法。通過設計一種具有抗強交流電場干擾的傳感器屏蔽式封裝結構，抑制外界交流電場對反饋信號的干擾，同時采用閉環控制電路實時采集反饋信號實現閉環驅動調制，穩定控制傳感器振幅，提高了電場測量的穩定性與抗干擾能力。實驗結果表明，采...
基于半包圍柵U溝道可重置肖特基二極管的同或邏輯門研究
摘要：基于半包圍柵U溝道可重置肖特基二極管（SSG-U-RSD）的單器件同或邏輯門結構在開關特性以及邏輯運算中表現出巨大優勢。這一新型器件采用金屬Ni作為源、漏電極，與無摻雜硅溝道接觸形成肖特基勢壘，同時U溝道在垂直方向上延長載流子流通的有效路徑，能夠在不改變水平溝道器件尺寸的基礎上獲得更低的亞閾值擺幅（SS）以及更高的電流開關比(ION/IOFF)。經過仿真...
微小焊盤鍵合工藝故障分析與參數優化
摘要：針對放大器小焊盤鍵合參數調試中出現的鍵合不上的問題，依據鍵合工藝規范，結合25μm金絲鍵合工藝要求展開系統分析。通過金相顯微鏡觀測，明確核心成因：接線柱鍵合界面凹凸不平及近壁鍵合工裝長期使用，導致劈刀受力不均、頭部缺損，進而引發鍵合點成型缺陷。基于此，提出鍵合參數調整方案與設備維護策略，優化超聲壓力、超聲功率等關鍵參數，建立劈刀狀態檢測機制。驗證結果顯示，優化后鍵合良率達100%,平均鍵合拉力提升...
關鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準納米參考樣片制備及性能評價
摘要：針對先進半導體工藝中關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CDSEM)商用標準樣片成本高、迭代周期長的問題，設計并制備了100 nm周期納米光柵參考樣片。樣片采用電子束曝光(EBL)與等離子體刻蝕工藝制備，結構區域面積為500μm×500μm,包含X/Y雙方向條形光柵(占空比1∶1),優化了X/Y方向布局設計以適配CDSEM快速雙向測量。通過聚焦離子束-掃描電子顯微鏡(FIB-SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)...
第二十屆中國半導體行業協會半導體分立器件年會暨2026年先進封裝技術創新與產業鏈協同發展論壇會議通知
摘要：<正>~
紙基微流控芯片設計及蛋白質含量測定研究
摘要：蛋白質定量分析在食品安全領域應用廣泛，傳統實驗室方法依賴大型設備且操作繁瑣，而紙基微流控芯片檢測具有低成本、便攜的特點。采用蠟打印技術構建雪花形狀的紙基微流控芯片，通過毛細作用自動輸送液體至檢測區域，以溴酚藍為顯色探針，在固定光源與拍攝條件下采集芯片圖像，通過圖像處理軟件提取檢測區域圖像灰度值，建立灰度-蛋白質質量濃度定量模型，實現蛋白質含量快速檢測。結果顯示芯片檢測限(LOD)為7.7μg/mL...
基于YOLO算法的HUVEC微流控檢測系統
摘要：針對傳統顯微鏡下臍靜脈內皮細胞(HUVEC)人工計數方法存在效率低、主觀性強等問題，設計了一套集成化、自動化的細胞檢測系統以解決以上問題。該檢測系統硬件平臺集成自主研制的注射泵、微流控芯片、顯微成像模塊與上位機控制程序，軟件核心采用YOLOv13n深度學習算法開發并用于HUVEC的實時識別與計數。實驗結果表明，該檢測系統對HUVEC的識別準確率(mAP@0.5)可達0.852,推理速度達27.5 ...
菱方相Hf0.5Zr0.5O2與IGZO集成及其非易失薄膜晶體管
摘要：針對傳統基于正交相氧化鉿的鐵電存儲器存在工作電壓高、耐久性不足的問題,提出了一種將亞穩菱方相Hf0.5Zr0.5O2與銦鎵鋅氧化物（IGZO）溝道全氧化物集成的方案。通過優化磁控濺射沉積與快速熱退火工藝,確定了制備菱方相Hf0.5Zr0.5O2鐵電薄膜的最佳工藝窗口。...
二氧化鈦薄膜真空制備工藝、微觀動力學機制及前沿應用研究進展
摘要：二氧化鈦(TiO2)憑借其卓越的光學折射率、化學穩定性及半導體特性,已成為現代光電子、精密光學及能源轉換領域的核心材料。系統綜述了磁控濺射（MS）、高功率脈沖磁控濺射（Hi PMSI ）、雙極脈沖高功率磁控濺射（BPH）、原子層沉積（ALD）等二氧化鈦薄膜的主流真空制備技術,深入剖析了制備過程中的靶中毒效應、自限制反應動力學及離子輔助致密化等關鍵物理現象。重點強化了制備參數對...
基于MEMS水聽器的混沌粒子群優化側掃聲吶圖像增強與目標智能識別
摘要：針對當前側掃聲吶圖像對比度低,導致目標識別精度受限問題,提出了一種基于微電子機械系統(MEMS)水聽器的混沌粒子群優化側掃聲吶圖像增強與目標智能識別方法。利用MEMS水聽器實時感知并補償平臺運動姿態,校正幾何失真。應用融合混沌映射思想的改進粒子群優化算法,對增強系數進行優化調整,從而實現圖像的自適應增強。對增強后的側掃聲吶圖像進行Radon變換,獲取原始圖像對應的全向投影特征圖。構建基于卷積神經網...
基于熔融合金電流體噴印的多層電路空間互連導線制備研究
摘要：空間互連導線是多層電路器件的關鍵組成部分，有助于在單位面積內集成多類型元器件。其常規制備方法，如軟光刻、轉印等存在工藝復雜、成本昂貴的問題。提出了一種氣壓輔助熔融合金電流體噴印的方法，使用低熔點合金作為空間互連導線的材料，快速制備多層電子器件。首先，闡述了該工藝的基本原理及驗證方法，研究了脈沖峰值電壓(U)、打印速度(v)、氣壓(p)對噴印線寬的影響，同時研究了垂直立柱和弧形導線可控制備的工藝規律...
高性能4H-SiC雙結二極管溫度傳感器設計與實現
摘要：針對高溫能源領域對高性能測溫元件的需求，研究并制備了一種基于4H-SiC雙結(同時包含p-n結與肖特基結)二極管的新型溫度傳感器。該傳感器利用4H-SiC寬禁帶半導體的高熱穩定性，通過雙結串聯結構在恒定電流偏置下正向電壓隨溫度的線性響應實現測溫。在298～573 K的溫度范圍內，該傳感器展現出優異的性能指標：在1 nA低電流偏置下，其最大靈敏度可達4.53 mV/℃,線性度高達99.986%;在1...
MEMS真空度傳感器結構與性能演進綜述
摘要：隨著高端制造裝備與微系統集成技術的快速發展，真空度傳感器已普遍實現微機電系統(MEMS)芯片化，其尺寸微縮不再是主要瓶頸。當前研究重點正逐步轉向：在芯片尺度受限條件下，如何通過敏感結構設計與集成方式創新，持續提升真空檢測性能。由于不同真空壓力區間內氣體流動狀態與主導物理機制顯著不同，使得機械應變、諧振、熱傳導及電離等檢測原理在傳感器MEMS化后面臨差異化的性能約束與結構挑戰。圍繞MEMS真空度傳感...
線接觸電容式壓力敏感芯片設計
摘要：與壓阻式傳感器相比，微機電系統(MEMS)電容式壓力傳感器具有精度和靈敏度高的優勢，但其響應特性存在較大非線性的弱點。雖然接觸電容式壓力敏感結構對此有所改善，但卻帶來嚴重的遲滯問題。為此，基于線接觸電容式壓力敏感結構，對電容式壓力敏感芯片進行了設計。利用這種線接觸結構使其極板接觸面積趨近于零，從而可使接觸式傳感器超常的遲滯得到大幅降低，同時還顯著擴大了其線性響應范圍。仿真結果表明，所設計量程為15...
Li2CO3摻雜量對β″-Al2O3性能的影響及與鋁陽極鍵合研究
摘要：采用聚乙烯吡咯烷酮（PVP）溶膠-凝膠法，以Li2CO3為穩定劑制備β″-Al2O3固體電解質，并將其作為陽極鍵合的陰極材料，通過調節Li2CO3摻雜量，探究摻雜量對β″-Al2O3性能的影響。X射線衍射（XRD）表征表明，...
P2型Na0.67Fe0.5Mn0.5O2鈉離子電池正極材料的制備與電化學性能
摘要：P2型Na0.67Fe0.5Mn0.5O2正極材料具有較高的理論比容量和較低的成本，是一種很有前途的儲能材料。通過溶膠-凝膠法制備了不同煅燒溫度（800、850、900、950℃）的Na0.67Fe0.5Mn0.5O2材料。...
微透鏡陣列光場成像在立體視覺領域的研究進展
摘要：近年來，微納制造技術的迅速發展使得多種視覺識別需求的實現成為可能。為了應對日益多樣化的應用需要，基于微透鏡陣列的視覺識別系統改進已成為該領域一個重要的發展方向。針對這些改良和改良效果，從硬件結構改良與軟件算法改良兩個大方向進行分析與總結。首先，在硬件結構改良中，主要對以角坐標獲取、以空間坐標獲取和以清晰圖像獲取為目的的優化進行歸納與總結。其次是軟件算法改良，歸納與總結了通過針對靜物識別清晰圖像獲取...
MgO摻雜BaTiO3基陶瓷的介電性能研究
摘要：采用傳統固相合成法制備了BaTiO3-xMgO-MnO-Dy2O3-Al2O3-SiO2（摩爾分數x=0%～1.6%）陶瓷，并且在不同燒結溫度（1 160、1 180、1 200℃）下，用體積分數分別為0.1%H2/99.9%N2 復合電沉積法制備Ni-Co/SiCw復合材料及其性能研究 摘要：針對微機械器件對高性能復合材料的需求,采用復合電沉積法制備具有優良力學性能的碳化硅晶須增強鎳鈷（Ni-Co/SiCw）復合材料。首先確定本實驗中Ni-Co合金沉積的最佳基準條件,進而系統研究了電流密度、鍍液溫度及攪拌速度對Ni-Co/SiCw復合材料微觀形貌演變的影響規律。結果表明,制備Ni-Co/SiCw復合材料的最優工藝參數為:電流密度10 mA/c... 相關電子信息期刊推薦 核心期刊推薦
