真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報雜志創(chuàng)刊于1981年，主要征收行波管、硬度、電子密度、微觀結(jié)構(gòu)、真空、等離子體、力學(xué)性能、微觀組織、磁控濺射、數(shù)值模擬方面的稿件，因此該刊開設(shè)了欄目是：綜述評述、研究快報、研究論文、科普專欄、技術(shù)交流等。

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報雜志征收稿件的關(guān)鍵詞分布如下：